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EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究

汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。

“薄膜是一种薄膜结构，可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而，由于极紫外光子的吸收，其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免，这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而，薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得，其值对厚度非常敏感。因此，我们研究了发射率对结构参数的依赖性，例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸，使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后，我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法，该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”

未来的芯片需求，将来自什么应用？（一）

2022年才刚过一季，半导体市场却灾情不断，像是广达因PC电脑需求罕见单，苹果（Apple）传出需求疲弱而调降Iphone 13、Iphone SE和无线蓝芽耳机Airpods的产量，美系外资新出炉的报告也发出半导体库存需要修正的警示，预期力积电也可能面临客户砍单。

确实，半导体经济多少受新冠疫情再起和乌俄的影响，但事实是：评估半导体库存的，已悄然移转。

面对美系外资的评论，力积电董事长黄崇仁表示，现在是多元社会，不能用单一产品市场需求分析，如苹果并不是只出产手机，外资若还是以电脑与手机市场需求分析，则是落后的思想。

我格外认同这段话。近年数字经济已开始由汇流走向新分流，除了电脑和手机外，半导体的确有许多新方向可以让人作梦，像是元宇宙相关的AR/VR/MR、伺服器主机、新能源汽车和智能自驾车领域等，但目前大多的产业分析师仍以电脑与手机的产量作为半导体市场的评估标准，确实不公平。

举例来说，近期因永续节能而广受市场认同的电动车及智能自驾车的半导体就被忽略了。

市场动能持续减弱，未来DRAM跌价空间或将持续扩大

本周DRAM市场动能持续减弱，各模组厂仍因库存水位甚高，向原厂申请延迟交货，对于现货购货意愿不断下降，更带给现货供应商高成本压货负担，为求换现，除了主动调降报价外，亦看准下半年前景低迷，针对实际买盘承接度增加，造成崩盘现象，预估未来跌价空间将持续扩大。

DDR4 1Gx8 2666/3200部分，SK Hynix DJR-XNC报价维持在USD3.0x；Samsung WC-BCWE价格下修幅度高达20%，来到USD2.70，WC-BCTD现货报价也同样下跌来到USD2.70左右，SK Hynix CJR-VKC报价落在USD3.2x~3.3x。

DDR4 512x8 2400部分，Samsung WE-BCRC价格跌落至USD1.75，WF-BCTD价格为USD1.8x左右。

DDR4 512x16 2666部分，SK Hynix CJR-VKC报价为USD3.3x。

DDR4 256x16部分，Samsung WE-BCRC价格在USD1.8x，WF-BCTD报价落在USD1.54附近。

光刻机制造商ASML预计涨价幅度在10%-15%

位于荷兰的半导体设备供应商 ASML 公布了第二季度业绩，显示供应链挑战、通货膨胀和地缘政治不确定性的不利因素，并暗示其机器价格可能会上涨。?

ASML 拥有 95% 的 DUV 设备市场份额，而中国还没有任何本土替代品。但是，还有其他竞争对手，如尼康和佳能可以向中国提供深紫外设备。因此，文宁克的评论主要是说，美国提出限制ASML继续向中国销售DUV，将让其竞争对手在中国市场获得更大的份额。

Wennink 看到（汽车领域）半导体含量翻了两番或五倍，工业领域、计算和汽车领域的需求依然强劲。他证实了“短期情况喜忧参半”，因为经济放缓，特别是在个人电脑和智能手机领域，并且在不同的半导体节点中，库存上升到 Covid 之前的水平是相当广泛的。据此初步判断，ASML涨价幅度预计在10-15%。